華海清科
華海清科股份有限公司是一家擁有核心自主知識產(chǎn)權的高端半導體設備制造商,主要從事半導體專(zhuān)用設備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷(xiāo)售及技術(shù)服務(wù),主要產(chǎn)品為化學(xué)機械拋光(CMP)設備。公司的主要產(chǎn)品為擁有核心自主知識產(chǎn)權的CMP設備。公司也榮獲“天津市科學(xué)技術(shù)獎(技術(shù)發(fā)明)一等獎”、“中國機械工業(yè)科學(xué)技術(shù)獎(技術(shù)發(fā)明)特等獎”、“2018年度、2019年度中國半導體創(chuàng )新產(chǎn)品和技術(shù)獎”、“中國好設計金獎”等榮譽(yù)。截至2021年12月31日,公司擁有國內外授權專(zhuān)利209項,其中發(fā)明專(zhuān)利114項、實(shí)用新型專(zhuān)利95項,擁有軟件著(zhù)作權7項;公司CMP設備已累計出貨超140臺,未發(fā)出產(chǎn)品的在手訂單超70臺,設備已廣泛應用于中芯國際、長(cháng)江存儲、華虹集團、英特爾、長(cháng)鑫存儲、廈門(mén)聯(lián)芯、廣州粵芯、上海積塔等國內外先進(jìn)集成電路制造商的大生產(chǎn)線(xiàn)中。